玻璃石英光罩

說明:
石英玻璃基板係經過超精密平面研磨與拋光後成為半導體黃光製程中重要的光罩材料。

應用:
半導體邏輯IC/記憶體/LED/面板/PCB各種科技產業中,由於製程線路的微縮,使得光罩(Hard Mask Blanks),被更廣泛的使用 Hard Mask Blanks 主要是於石英玻璃或蘇打玻璃上,濺鍍鉻及矽化鉬後形成薄膜,再塗上感 光性材料(電子束用、雷射用光阻等)而成的製品。



製程能力

  玻璃光罩glass blank 石英光罩 quartz blank
厚度(mm) 0.1~20 0.1~20
尺寸(mm) 1~1400 1~1400
TTV(um) <5 <5
表面粗度(Ra) Min 0.01um Min 0.01um