空白光罩基板

說明:
半導體與各種電子科技產業不可或缺的石英玻璃光罩基板，空白光罩(Mask Blank)經由鍍鉻層與雷射描寫機(Writing)加工後，是黃光曝光機製程中重要製程耗材，其平面度與表面光潔度的精細要求是地球上最嚴格的標準之一。