蚀刻机/曝光机元件
应用:
蚀刻机上电极需有耐腐蚀与耐电浆冲击的特性，故常使用矽/石英/陶瓷材料。
蚀刻机上电极板(QUARTZ SHOWER HWAD) OD0.5mm*8t*8inch
蚀刻机上电极板(Si shower head) 0.45*10.5t*8inch
静电吸盘(E-CHUCK) 陶瓷/碳化矽SIC板
静电吸盘中的上陶瓷板需有超高精度的平面度与抛光值
制程能力
| 矽/石英shower head | E-CHUCK 陶瓷/碳化矽板 | |
| 厚度(mm) | 0.1~20 | 0.1~20 |
| 孔径(mm) | Min 0.15mm | Min 0.15mm |
| 尺寸(mm) | 1~500 | 1~500 |
| TTV(um) | <1 | <1 |
| 表面粗度(Ra) | Min 0.01um | Min 0.01um |