玻璃石英光罩
应用:
半导体逻辑IC/记忆体/LED/面板/PCB各种科技产业中,由于制程线路的微缩,使得光罩(Hard Mask Blanks),被更广泛的使用 Hard Mask Blanks 主要是于石英玻璃或苏打玻璃上，溅镀铬及矽化钼后形成薄膜，再涂上感 光性材料(电子束用、雷射用光阻等)而成的制品。
制程能力
| 玻璃光罩glass blank | 石英光罩 quartz blank | |
| 厚度(mm) | 0.1~20 | 0.1~20 |
| 尺寸(mm) | 1~1400 | 1~1400 |
| TTV(um) | <5 | <5 |
| 表面粗度(Ra) | Min 0.01um | Min 0.01um |