空白光罩基板

说明:
半导体与各种电子科技产业不可或缺的石英玻璃光罩基板，空白光罩(Mask Blank)经由镀铬层与雷射描写机(Writing)加工后，是黄光曝光机制程中重要制程耗材，其平面度与表面光洁度的精细要求是地球上最严格的标准之一。